Elektronenstrahlmikroanalyse
- Elektronenstrahlmikroanalyse
Elektronenstrahlmikroanalyse,
Abkürzung
ESMA, früher als
Rọ̈ntgenmikroanalyse bezeichnete
Methode der
Röntgenspektroskopie. Dabei wird auf die zu analysierende Stelle der Probenoberfläche ein
Elektronenstrahl genau fokussiert; dieser regt die Atome des Materials zur
Emission einer
Röntgenstrahlung an, deren
Spektrum die charakteristischen Linien der vorhandenen chemischen Elemente aufweist. Durch die Elektronenstrahlmikroanalyse können Aussagen über die
Zusammensetzung und
Konzentration der in der Probe vorliegenden chemischen Elemente (
Ordnungszahl größer 17) sowie über lokale chemische Bindungsverhältnisse getroffen werden. Sie wird zur
Untersuchung von
Legierungen, Mineralen, Sinterstoffen u. a. angewandt.
Universal-Lexikon.
2012.
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